半導体製造装置やマイクロ波装置、高周波加熱装置は、金属を使用した熱電対やPt、サーミスタなどを装置の内に組み込んで温度計測することができません。弊社の「装置組込用蛍光式光ファイバー温度変換器」と「専用温度センサ(汎用耐久タイプ)」は、センサの測温部において金属を使用していないため、装置の中に組み込み、加熱しながら温度計測ができます。
計測したデータは、アナログ出力とシリアル通信の2系統の外部出力によりリアルタイムで装置に取り込むことができるので、装置の温度制御が可能です。
FLC-1000
希望小売価格(税別):250,000円
・小型で軽量(約450g)な為、装置組込に最適
・100msの高速サンプリング速度
・アナログ出力とシリアル通信の2系統の外部出力によりリアルタイムのデータ収集が可能
FSC150-2M(汎用耐久タイプ)
希望小売価格(税別):90,000円
FSC150-2Mは専用温度センサの中でも汎用耐久タイプとなっており、応答速度・耐久性を追求するハイレベルな計測に適した温度センサとなります。
コード長が変更可能ですので、用途にあわせてご選定下さい。
また専用センサは、汎用耐久タイプ以外にも耐光タイプ、高温タイプのラインナップを用意しております。
