蛍光式光ファイバー温度計シリーズ(半導体製造装置用、マイクロ波加熱装置用)

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FLシリーズ・FLC-1000シリーズは、熱電対やPt、サーミスタなどの金属を使用した電気式温度計では計測困難な環境下においてノイズや自己発熱などの影響がなく温度計測が可能です。
熱電対やPt、サーミスタなどの金属を使用した電気式温度計では
計測困難な環境下においてノイズや自己発熱などの影響がなく温度計測が可能です。
・高周波や高電圧環境下での計測が可能
・蛍光式光ファイバー温度計でありながら、ワイドな計測範囲を実現
・汎用タイプは1チャンネルと4チャンネルの2タイプを用意
・装置組込に最適なFLC-1000シリーズもございます。



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蛍光式光ファイバー温度計 FLシリーズ

蛍光式光ファイバー温度計の汎用タイプ
1chモデル、4chモデル有り


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蛍光式光ファイバー温度変換器 FLC-1000シリーズ

蛍光式光ファイバー温度変換器
表示部を廃し、小型、軽量を実現
装置組込に最適な形状