レジスト装置など半導体製造工程において、ステージの表面温度測定が重要となります。
弊社の「メモリ付き温度計 サーモロガー」と「熱電対付きシリコンウェーハ」を用いれば長時間の連続した温度測定が可能です。コンパクトサーモロガーは多チャンネル入力可能なメモリ付温度計測器となっており、同一時間軸で複数の測定点の状況をグラフやデータにて確認できます。
半導体製造工程における歩留まりの軽減や装置開発に貢献します。
AM-9000K
希望小売価格(税別):150,000円
AM-9000Kは6チャンネルまでの温度測定データをメモリする事ができる温度ロガーです。
また、AM-9000シリーズの他のラインナップには12チャンネル入力や、熱電対種(E/K/J/T/R)をチャンネル毎に切り替えることができるマルチ入力タイプもございます。
専用解析ソフト(AMS-900)(別売)を用いれば出来る事
・PC接続し、リアルタイムでグラフを表示する事も可能です。
・記録したデータをPCに転送できます。
・温度データ及びグラフにて、温度分布の状況や昇温時間等を確認できます。
・記録データをCSV形式に変換でき、自由に編集可能です。
AW-0505K-A-TS1-ANP
希望小売価格(税別):265,000円
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を組み合わせることにより、よりお客様の用途にあった温度センサにすることができます。
また、お客様からのご支給品での製作など特注品の対応も可能です。
