安立計器製品使用例5

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安立計器製品使用例5

プラズマエッチング中のシリコンウェハの表面温度計測に

推奨温度計測器

• 蛍光式光ファイバー温度計FL-2000

 

衛生的な環境での温度計測に

推奨温度計測器

• ハンディタイプ放射温度計R-100シリーズ
• 設置タイプ放射温度計R-4600シリーズ
• ハンディタイプ放射温度計(接触＋非接触)ARシリーズ

 

異常発熱箇所の早期発見に

推奨温度計測器

• ハンディタイプ放射温度計R-100シリーズ
• 設置タイプ放射温度計R-4600シリーズ
• ハンディタイプ放射温度計(接触＋非接触)ARシリーズ

 

電子レンジなどマイクロ波環境内での温度計測に

推奨温度温度計測器

• 蛍光式光ファイバー温度計FL-2000

 

装置組込みに

推奨温度センサ

• 一般静止表面用グリップなしタイプN形シリーズ
• 高性能タイプグリップなしタイプS形シリーズ
• 移動・回転用グリップなしタイプU形シリーズ