熱電対付シリコンウェーハAWシリーズの仕様
AWシリーズに関するリンク
このセンサは修理対応できます 。AWシリーズの仕様
| 形名 * 1 | AW-※※※K-T | AW-※※※K-A | AW-※※※K-S | |
| 熱電対種 | タイプ K | |||
| 使用温度範囲 * 2 | 0〜260℃ | 0〜500℃ | 0〜500℃ | |
| 許 容 差 |
0℃以上100℃以下 | ±2.5℃ | ±2.5℃ | ±2.5℃ |
| 100℃超200℃以下 | ±2.5℃ | ±5.0℃ | ±5.0℃ | |
| 200℃超300℃以下 | ±2.5℃ (260℃以下) | ±6.0℃ | ±6.0℃ | |
| 300℃超400℃以下 | - | ±7.0℃ | ±7.0℃ | |
| 400℃超500℃以下 | - | ±8.0℃ | ±8.0℃ | |
| 成績書試験点 | 100, 150, 200, 250℃ | 100, 200, 300, 400, 490℃ | ||
| ウェーハサイズ | 5, 8, 12インチ | |||
| 熱電対素線径 | φ0.13mm | |||
| 熱電対絶縁被覆材質 | テフロン | アルミナ繊維スリーブ | 石英管 | |
| 一般(メーカー)校正の温度範囲 * 3 | 50〜250℃ | 50〜490℃ | 50〜490℃ | |
| 修理 | 修理できます | |||
*1 形名の※には、形名選択できる数字が入ります。なお、絶縁被覆以降の形名は省略しております。
*2 使用温度範囲は、ウェーハや絶縁被覆部の仕様温度範囲であり、それ以外には適用されませんのでご注意下さい。
*3 一般(メーカー)校正は有償です。詳細は校正についてをご参照下さい。なお、不明な点はお問い合わせ下さい。
特注品の製作
AWシリーズは以下の特注仕様も制作可能です。お気軽にご連絡下さい。
- 熱接点位置：ウェーハ外周から10mm以上内側の任意の位置
- センサ点数：1, 5, 9以外の点数も可能
- ウェーハ材質：Si, Sic, ガラス等(要支給品)
- ウェーハ形状：2〜12インチ、□10〜200mm(要支給品)
- 被覆材(テフロン、アルミナ、石英)部分のL寸法、Max.2000mmまでの指定可能
- 支給のウェーハにて製作可能
- 真空シールド用ポリイミドフラット加工