安立計器株式会社

熱電対付シリコンウェーハAWシリーズの仕様

 
 
AWシリーズに関するリンク
このセンサは修理対応できます 。
AWシリーズの仕様
形名 * 1 AW-※※※K-T AW-※※※K-A AW-※※※K-S
熱電対種 タイプ K
使用温度範囲 * 2 0〜260℃ 0〜500℃ 0〜500℃



0℃以上100℃以下 ±2.5℃ ±2.5℃ ±2.5℃
100℃超200℃以下 ±2.5℃ ±5.0℃ ±5.0℃
200℃超300℃以下 ±2.5℃ (260℃以下) ±6.0℃ ±6.0℃
300℃超400℃以下 ±7.0℃ ±7.0℃
400℃超500℃以下 ±8.0℃ ±8.0℃
成績書試験点 100, 150, 200, 250℃ 100, 200, 300, 400, 490℃
ウェーハサイズ 5, 8, 12インチ
熱電対素線径 φ0.13mm
熱電対絶縁被覆材質 テフロン アルミナ繊維スリーブ 石英管
一般(メーカー)校正の温度範囲 * 3 50〜250℃ 50〜490℃ 50〜490℃
修理 修理できます
* 1 形名の※には、形名選択できる数字が入ります。なお、絶縁被覆以降の形名は省略しております。
* 2 使用温度範囲は、ウェーハや絶縁被覆部の仕様温度範囲であり、それ以外には適用されませんのでご注意下さい。
* 3 一般(メーカー)校正は有償です。詳細は校正についてをご参照下さい。なお、不明な点はお問い合わせ下さい。
特注品の製作
AWシリーズは以下の特注仕様も制作可能です。お気軽にご連絡下さい。