熱電対付シリコンウェーハAWシリーズのモデルナンバー早見表
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このセンサは修理対応できます 。AWシリーズのモデルナンバー早見表
| 1 ウェーハサイズ |
05 | 5インチ |
| 08 | 8インチ | |
| 12 | 12インチ | |
| 2 熱電対センサ点数 |
01 | 1点 |
| 05 | 5点 | |
| 09 | 9点 | |
| 3 絶縁被覆材質 |
T | テフロン |
| A | アルミナ繊維スリーブ | |
| S | 石英管 | |
| 4 コードの長さ |
1 | 1m |
| 1.5 | 1.5m | |
| 2 | 2.5m | |
| 2.5 | 2.5m | |
| … | … | |
| 5 プラグ形状 |
ASP | 標準プラグ |
| ANP | ミニプラグ | |
| W | 切りっぱなし | |
| WT3 | Y端子M3用 | |
| WT4 | Y端子M4用 | |
| WT5 | Y端子M5用 | |
| WC3 | 丸穴端子M3用 | |
| WC4 | 丸穴端子M4用 | |
| WC5 | 丸穴端子M5用 | |
| ANJ | 熱電対材Y端子 |