熱電対付シリコンウェーハAWシリーズ

代表的な AWシリーズ

引張荷重200g以上という高強度な熱接点固定部を実現し、さらに熱電対の経年変化による精度ズレの影響を最小限に抑えることで再現性を向上させた熱電対付シリコンウェーハです。

Model AW-0505K-A-TS1-ANP

5インチウェーハに、アルミナ繊維スリーブを被覆した熱電対センサを5本取り付けたタイプです。
熱電対センサの被覆に使用しているアルミナ繊維スリーブは柔軟で軽量なため、手軽に取り扱えます。

希望小売価格(税別)260,000円

ウェーハサイズ	点数	熱電対種	熱電対絶縁被覆	コード長	コード端末
5インチ	5点	タイプK	アルミナ繊維スリーブ	1m	ミニプラグ

Model AW-0505K-S-TS1-ANP

5インチウェーハに、石英管を通した熱電対センサを5本取り付けたタイプです。
熱電対センサの被覆に使用している石英管はアルミナ繊維スリーブに比べ、低粉塵かつ低アウトガスであるため、不純物の影響に敏感な用途でのご使用に適しています。

希望小売価格(税別)360,000円

ウェーハサイズ	点数	熱電対種	熱電対絶縁被覆	コード長	コード端末
5インチ	5点	タイプK	石英管	1m	ミニプラグ

特徴

引張荷重200g以上という高強度な熱接点固定部を実現。
熱電対の経年変化による精度ズレの影響を最小限に抑えることにより再現性を向上。
精密穴加工をウェーハ上に施すことにより、高精度の熱接点位置を確保。
全製品に標準付属品として試験成績書を添付。高精度な温度測定の実現が可能。
全27種類の豊富なラインナップ。(コード、端末の組み合わせを除く)
- ウェーハサイズ：3種類（5,8,12インチ)
- 熱電対センサ点数：3種類(1,5,9点)
- 熱電対絶縁被覆：3種類(テフロン、アルミナ繊維スリーブ、石英管)
短納期対応。(標準納期21日間)
標準以外の仕様も製作致します。お気軽にお問い合わせ下さい
- 熱接点位置：ウェーハ外周から10mm以上内側の任意の位置
- センサ点数：1, 5 , 9以外の任意の点数
- ウェーハ材質：Si の他、SiC、ガラス等 (要支給品)
- ウェーハ形状：2～12インチ、□10mm～□200mm (要支給品)
- 絶縁被覆部の長さ：Max. 2000mmまで任意の長さ指定可能
- 真空シール用ポリイミドフラット加工
- ご支給のウェーハによる製作
定期校正・修理もお受けいたします、詳細はお問い合わせ下さい。

校正

安立計器は温度計測器専門メーカーとして、独自の校正システムにより、高次元のトレーサビリティを実現できます。
専用の校正システムを用い、実測値としての試験成績書を全製品に添付することで、総合的信頼性を向上させております。標準で、テフロン被覆タイプは100,150,200,250℃の4点、アルミナ繊維スリーブ被覆・石英管被覆タイプは100,200,300,400,490℃の5点の試験が実施されます。

代表的な熱電対付シリコンウェーハAWシリーズ