熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ

AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を組み合わせることにより、よりお客様の用途にあった温度センサにすることができます。
また、お客様からのご支給品での製作など特注品の対応も可能です。

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タイプKの場合:AW-0505K-A-TS1-ANP

製品画像
使用温度範囲:
0~500℃
許容差:

0℃以上100℃以下:±2.5℃
100℃超200℃以下:5.0℃
200℃超300℃以下±6.0℃
300℃超400℃以下±7.0℃
400℃超500℃以下:±8.0℃

希望小売価格(税抜) 260,000円

AW-0505K-S-TS1-ANP

製品画像
使用温度範囲:
0~500℃
許容差:
0℃以上100℃以下:±2.5℃
100℃超200℃以下:5.0℃
200℃超300℃以下±6.0℃
300℃超400℃以下±7.0℃
400℃超500℃以下:±8.0℃

希望小売価格(税抜)360,000円