熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です。ウェーハサイズ・熱電対センサ点数・熱電対絶縁被覆種類 など項目を組み合わせることにより、よりお客様の用途にあった温度センサにすることができます。
また、お客様からのご支給品での製作など特注品の対応も可能です。
1 ウェーハサイズ
05
5インチ
08
8インチ
12
12インチ
2 センサ点数
01
1点
05
5点
09
9点
3 熱電対の種類
K
タイプK
4 絶縁被覆材質
A
アルミナ繊維スリーブ
使用温度範囲：0～500℃
S
石英管
使用温度範囲：0～500℃
T
テフロン
使用温度範囲：0～260℃
5 コードの種類と長さ
TS1
標準仕様：TSコード 1ｍ
コード外径：φ2.3mm
被覆材質：シリコンゴム
耐熱温度：240℃
コードの長さは0.5m単位で指定できます。
6 プラグ形状
ASP
標準プラグ(熱電対同種金属)
対応本体：HD-1*0*,AP-400 など
ANP
ミニプラグ(熱電対同種金属)
対応本体：AM-8***,HD-1*5*,AP-450,AR-1***,R-460* など
W
切りっぱなし
WC3
M3用丸穴端子(一般電極材)
WC4
M4用丸穴端子(一般電極材)
WC5
M5用丸穴端子(一般電極材)
WT3
M3用Y端子(一般電極材)
WT4
M4用Y端子(一般電極材)
WT5
M5用Y端子(一般電極材)
ANJY
M4用Y端子(熱電対同種金属)
WA
バナナ端子(一般電極材)